JPH042396B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH042396B2 JPH042396B2 JP2834083A JP2834083A JPH042396B2 JP H042396 B2 JPH042396 B2 JP H042396B2 JP 2834083 A JP2834083 A JP 2834083A JP 2834083 A JP2834083 A JP 2834083A JP H042396 B2 JPH042396 B2 JP H042396B2
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- JP
- Japan
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- gripping
- fixed
- levers
- point
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2834083A JPS59156688A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | 三点把持形ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2834083A JPS59156688A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | 三点把持形ハンド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59156688A JPS59156688A (ja) | 1984-09-05 |
JPH042396B2 true JPH042396B2 (en]) | 1992-01-17 |
Family
ID=12245864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2834083A Granted JPS59156688A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | 三点把持形ハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59156688A (en]) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0451995Y2 (en]) * | 1985-05-21 | 1992-12-07 | ||
US5000652A (en) * | 1986-09-22 | 1991-03-19 | International Business Machines Corporation | Wafer transfer apparatus |
JPS6384041A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-14 | インタ−ナショナル・ビジネス・マシ−ンズ・コ−ポレ−ション | ウエハ移送装置 |
JPS63151290U (en]) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | ||
JPH0683981B2 (ja) * | 1989-04-13 | 1994-10-26 | 東レエンジニアリング株式会社 | チャック装置 |
JPH077102Y2 (ja) * | 1990-11-26 | 1995-02-22 | 株式会社プラスエンジニアリング | ローダー装置のチヤツク装置 |
JP5103225B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2012-12-19 | 株式会社コガネイ | チャック装置 |
JP6437041B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-12-12 | 昭和電工株式会社 | 円筒体把持装置 |
JP6509937B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2019-05-08 | 昭和電工株式会社 | 円筒体把持方法 |
JPWO2023171169A1 (en]) * | 2022-03-10 | 2023-09-14 |
-
1983
- 1983-02-21 JP JP2834083A patent/JPS59156688A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59156688A (ja) | 1984-09-05 |
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